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小型单通道石英晶体膜厚监测仪

技术指标:晶体频率: 6MHz(新晶体)~5MHz频率分辩率: 0.03Hz膜厚分辩率: 0.132Å(铝)膜厚准确度: 0.5%典型,取决于过程条件,是传感器的位置,材料应力,温度和密度频率测量: 0... ...

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